2023.01.30 アズビルがサファイア隔膜真空計を投入、MEMSで耐デポ性能向上

先端プロセス向け高温対応の分離形「形V8S」

　アズビルは、半導体の成膜やエッチングで用いるサファイア隔膜真空計「形V8」を発売する。

　MEMS加工技術で、真空計のセンサーダイヤフラム上に膜が形成されてしまう現象である「デポ」の対策を強化した。センサー構造・通路などを全面的に見直した。

　MEMSでセンサー表面を凸凹に加工して、膜の付着を極力分断する凸凹センサーを開発した。センサーダイヤフラムの表面をたわみにくくするなど対策した結果、デポでゼロ点が移動...　　(つづく)