2023.03.03 ダイヤモンド半導体 界面の欠陥低減 立体原子配列解明に成功 近大、奈良先端大など

パワー半導体開発に貢献

 近畿大学理工学部の藤井茉美准教授、奈良先端科学技術大学院大学の松下智裕教授、大阪大学工学研究科の森川良忠教授、台湾成功大学の水野潤教授らの研究チームは、人工的に合成したダイヤモンドとその上に形成したアルミナ絶縁膜の間に形成される電気的な欠陥を低減する立体原子配列を解明。〝究極のパワー半導体材料〟とされるダイヤモンド半導体の...  (つづく)