2023.06.28 大陽日酸が無機質粉体溶融・球状化技術を開発　半導体製造時の環境負荷を低減

溶融・球状化前後でのアルミナ粒子の外観

　日本酸素ホールディングスグループの大陽日酸は、純酸素燃焼を用いた粉体溶融・球状化システム「CERAMELT」と水素燃焼技術を組み合わせ、半導体材料製造プロセスでカーボンニュートラル実現に貢献できる無機質粉体溶融・球状化技術を開発した。

　球状粒子は半導体封止材料などの樹脂充塡（じゅうてん）剤として用いられ、半導体製品の性能向上や小型化に大きく寄与してきた。CERAMELTは、球状シリカなどの球状粒子を製造するプロセスで用いられ...　　(つづく)