半導体製造装置大手、オランダのASMLは28日（現地時間）、先端技術の世界的研究機関であるimec（アイメック）と、半導体研究で覚書（MOU）を締結したと発表した。微細加工に不可欠な最先端のEUVリソグラフィーのパイロットラインなどを構築。パートナーとの協力で、新しい半導体アプリケーションの探索などを図る。

　最先端EUV技術は、次世代のAIシステムなど向けに、高効率の半導体を開発する上で必須。 ただ、多額の投資が必要。覚書では、共同ラボを使用して研究開発を進める。 チップメーカーとエンドユーザー向けの持続可能な最先端製造ソリューションの開発を図る。

　欧州で米国同様、半導体業界強化を図る半導体法などに沿って、支援が図られている。今回の協力もその一環。

　ASMLは日本の半導体新会社、ラピダス向けの装置提供などでも関心を集めている。アイメックもラピダスとの連携を発表している。

（30日付電波新聞／電波新聞デジタルで詳報予定です）