2023.07.14 【電子部品技術総合特集】我が社のオンリーワン商品 日本電波工業 「アウトガス分析システム Twin-QCM」
センサーモジュール（左）と4ch装置
日本電波工業は、宇宙分野向けに開発した「アウトガス分析システム Twin-QCM」の新たな用途として、性能を劣化させる内蔵部品からのガス防止を目的とした光学レンズや高感度部品の検査用途に広げている。また、半導体装置において加工が条件通りに進められているかをリアルタイムでモニターする用途への応用も進めている。宇宙用途向けの展開では、これまでの宇宙機用材料などの選定や評価分析検査用途に加え、フライト後の宇宙空間での汚染監視を想定したフライトモデル製品の開発にも取り組んでいる。
