2020.03.09 ラムリサーチ 業界最高水準の生産性、新たなエッチング装置発表
新プラズマエッチング装置「センスアイ」プラットフォーム
米ラムリサーチはこのほど、新たなプラズマエッチング装置「Sense.ⅰ（センスアイ）」を発表した。業界最高水準の生産性と革新的なセンサーテクノロジーを備え、今後10年にわたってロジックとメモリーデバイスの生産を支える。
センスアイプラットフォームは、同社の「Kiyo」と「Flex」の各プロセスモジュールから進化したもの。均一性とエッチプロファイル制御の継続的な進化に不可欠なエッチング機能を実現し、最大化した歩留まりとウエハー... (つづく)
