2020.03.23 明電舎 成膜装置の子会社設立

4月1日に就任予定の髙田社長(左)と村井常務取締役

ALD/OER成膜装置販売

幅広い産業分野に提案

 明電舎は、100%出資の新子会社「明電ナノプロセス・イノベーション」を4月1日に設立し、新製品であるALD/OER成膜装置を販売することを発表した。

 明電舎ではこれまで、純度100%のオゾン(ピュアオゾン)を使用した常温成膜技術の研究開発を行っており、11年の製品化から累計24億円の出荷実績を持つ。  (つづく)