2023.12.26 ノベルクリスタルなどが垂直ブリッジマン法で単結晶作製β型酸化ガリウムを6インチ化

　タムラ製作所からのカーブアウトベンチャーでβ型酸化ガリウム（β－Ga₂O₃）の半導体開発に取り組んでいるノベルクリスタルテクノロジー（NCT）、産業技術総合研究所、信州大学は25日、垂直ブリッジマン（VB）法による6インチの単結晶の作製に世界で初めて成功したと発表した。基板の大口径化・高品質化の実現に向けた大きな前進が期待できる。

　VB法によるβ－Ga₂O₃の単結晶育成技術は信州大が発案して開発を進め、これまでに2／4インチ...　　(つづく)