2024.01.24 【ネプコンジャパン/オートモーティブワールド特集】ネプコンジャパン レクザム 基板コーティング装置と連携、防湿剤乾燥装置を出品

防湿剤乾燥装置「Pegasus Dryer-250I」

 レクザムは、独自のコア技術(光学、電子回路、画像処理、制御・センシング)の融合により、基板外観検査装置のほか眼科医療器、生体分析装置、半導体製造装置など複数分野で製品を展開している。

 「ネプコンジャパン」に出展し、基板保護には欠かせない防湿剤を塗布する基板コーティング装置「Pegasusシリーズ」と連携して使用する防湿剤乾燥装置「Pegasus Dryer-250I」を出品する。

 塗布後の乾燥工程では自然乾燥が主流だが、Pegasus Dryer-250Iにより、温度・風量を制御して乾燥を促すことで、乾燥時間短縮を実現し、生産性を向上した。

 搬送速度は0.5~3.0m/minの可変で、基板サイズに応じた高効率乾燥ができる。搬送可能な基板幅は50~250ミリメートル(長さは330ミリメートルまで)。搬送部は上下80ミリメートルのクリアランスによって背高部品にも対応する。

 また、防湿材には揮発性溶剤が含まれる場合が多く、作業者の健康被害予防が急務となっているが、同装置は上面に配置する排気ダクト(直径75ミリメートル×2カ所)から有機溶剤を効率的に排出することで、作業者の健康被害を低減する。

 基板コーティング装置ではインラインタイプを出品する。インラインタイプの塗布ノズルには、フィルムコートタイプとニードルタイプの2種類を標準装備。

 広い面積を短時間かつ、限定された領域へ正確に防湿剤を塗布することができる。

 基板全体画像をモニターしながら塗布エリアの指定が可能。塗布エリアごとに塗布方向、使用ノズルの設定ができ、基板表裏、搬送方向の確認も行う。

 シミュレーション機能では、最短塗布ルート探索による塗布経路の事前確認が可能なため、タクトタイムの短縮に貢献する。