2024.03.25 小野測器が3軸加速度センサー発売　ナノレベルで床の振動を計測

NP-7320N10ケーブルセット

　小野測器はこのほど、ナノレベルの床の振動が計測できる「超高感度ローノイズ TEDS対応3軸加速度センサー NP-7320N10」を発売した。これは「NP7310」の後継モデル。用途は半導体製造装置や精密加工機の設置場所の検討、製造時の設置床の振動の把握など。

　新製品は従来品と同じく人間が感じられない微小な振動を検出し、ナノレベルの振動が測定可能。IEEEで規格化された記述フォーマットのTEDS対応。圧電式でCE適合のため輸...　　(つづく)