2020.06.08 アルバック・クライオ「液体窒素ジェネレーター」普及へ
半導体、医療など幅広い分野に向けて普及に力を入れている「液体窒素ジェネレーター」
アルバックグループのアルバック・クライオは、「液体窒素ジェネレーター」（液体窒素発生装置）を半導体、医療など幅広い分野に向けての普及に取り組んでいる。
同社は1981年に日本真空技術（現アルバック）と、米国へリックス・テクノロジー社（現Edwards Vacuum）CTIクライオジェニックス事業部の合弁会社として、超高真空を作り出すのに不可欠なクライオポンプの製造・販売からスタート。現在はクライオポンプのほか、液体窒素ジェネ... (つづく)
