2020.06.10 安川電機半導体ウエハー搬送用クリーンロボット販売

半導体ウエハー搬送用クリーンロボット「SEMISTAR-GEKKO MD124D」

　安川電機は、ダイレクトドライブ（DD）駆動方式を採用した高精度・低振動な半導体ウエハー搬送用クリーンロボット「SEMISTAR-GEKKO MD124D」と、クリーンロボット用標準コントローラ「SR200」の販売を開始した。

　産業用ロボットが様々な生産現場で導入され、半導体製造プロセスにおいてもウエハー搬送用などクリーンロボットの需要が広がっている。

　同社はアーク溶接、スポット溶接、ハンドリング・組み立...　　(つづく)