2024.09.05 信越化学工業、300ミリメートルのQST基板開発 GaN成長時の反りやクラック問題を解決 サンプル供給開始

QSTウエハーシリーズ

GaNデバイスの社会実装進展に貢献

 信越化学工業は3日、GaN(窒化ガリウム)専用の成長基板である

QST基板=キーワード参照=の300ミリメートル(12インチ)化を実現し、サンプル供給を開始したと発表した。

 同社はこれまで、150ミリメートル(6インチ)、200ミリメートル(8インチ)のQST基板、お...  (つづく)