2024.11.08 ニコンがデジタル露光装置の開発推進　L／S1μmの高解像度

デジタル露光装置のイメージ

　ニコンは、半導体のアドバンストパッケージ向けに、1.0マイクロメートル（L／S）の高解像度で生産性の高い、デジタル露光装置の開発を進めている。同製品は2026年度中の発売を予定している。

　人工知能（AI）技術の普及により、データセンター向けの集積回路の需要が拡大している。チップレットをはじめとするアドバンストパッケージ分野では、配線パターンの微細化とともにパッケージの大型化が進められている。これにより、大型化に適したガラスな...　　(つづく)