2024.11.22 コメットテクノロジーズ・ジャパン、短時間で高解像度検査提供 半導体産業向けX線検査装置の新モデル

X線検査装置の「CA20」

 コメット・エクスロンが展開する工業用X線CTシステムのソリューションの販売・修理サポートを行うコメットテクノロジーズ・ジャパン(横浜市神奈川区)はこのほど、半導体産業向けX線検査装置のハイエンドモデル「CA20」を発表した。ミクロンサイズのディテールまで、高い精度で短時間に提供する検査装置として、半導体製造や自動車・航空宇宙産業の研究・生産現場などから注目を集めている。

 半導体産業においては、製造工程におけるエッチングや洗浄...  (つづく)