2025.05.29 東京農工大など、β-Ga₂O₃結晶の高速成長技術　独自の有機金属気相成長法で実現

β-Ga₂O₃の減圧ホットウォールMOVPE成長装置（FR2000-OX）の外観

　東京農工大学大学院工学研究院応用化学部門の熊谷義直教授らのグループは、独自の減圧ホットウォール有機金属気相成長（MOVPE）法を用い、高精度にn型キャリア密度を制御したβ型酸化ガリウム（β-Ga₂O₃）結晶の高速成長技術を開発した。

　β-Ga₂O₃は電力制御・変換の高効率化を実現する次世代パワーデバイス用の半導体材料として注目されている。今回、安全なSi源としてテトラメチルシラン（TMSi）を採用し、MOVPE法でSiをドー...　　(つづく)