2026.07.29 【令和8年熊本地震】東京エレクトロン、熊本合志・大津の両事業所で大きな損害確認されず、稼働停止し点検

 半導体製造装置大手の東京エレクトロンは、28日16時27分に熊本県熊本地方を震源として発生した最大震度7の地震について、子会社である東京エレクトロン九州の合志事業所(同県合志市)、大津事業所(同県大津町)ともに同日時点で建物、設備に大きな損害は確認していないとした。29日は安全を優先して両事業所の稼働を停止し、安全点検を行う。工場稼働再開時には速やかに公表するとしている。

 東京エレクトロン九州は、半導体ウエハーの表面に感光性...  (つづく)