2020.08.03 ウシオ電機が小型エキシマ照射装置特別な付帯設備が不要

既存製造ラインにそのまま設置できる「小型エキシマ照射装置」

　ウシオ電機は、自動車部品やスマートフォン製造プロセスにおける接着・封止工程の前処理用として、172ナノメートル真空紫外光（エキシマ光）照射によって部品のドライ洗浄や親水化、接着性を向上させる「HPV-ST　Series（ハイパーブイエスティーシリーズ」（HPV-ST）の販売を、8月から開始する。

　HPV-STは、同社が93年に世界で初めて製品化し、半導体や液晶パネル、電子部品製造プロセスで高いシェアを誇る「エキシマシリーズ」...　　(つづく)