2019.10.04 レーザーテックがEUVマスクパターン検査装置 欠陥検出感度、飛躍的に向上
宮井 部長
レーザーテックはこのたび、EUV露光で使用するEUVマスクのパターン検査に対応する欠陥検査装置「ACTIS A150」を製品化した。EUV光を用いたアクティニックパターン検査装置は世界初となる。デバイスパターンの微細化が進む中、EUV露光における課題を克服し、最先端半導体の製造を後押しする。
今回発表したACTIS A150は、波長の短いEUV光を利用したアクティニック検査技術を取り入れた世界初のEUVマスクパターン欠陥... (つづく)
