2021.10.13 14ナノDDR5 DRAM量産韓国サムスン、EUV露光技術を採用
14ナノメートル技術適用DDR5 DRAM
【ソウル支局】韓国サムスン電子は12日、EUV（極端紫外線）露光技術を採用した14ナノメートルDDR5 DRAMの量産を開始したと発表した。
人工知能（AI）や5G（第5世代移動通信規格）アプリケーション向けに最適のDRAMとしている。
EUV露光は、半導体の超微細化に必須の技術。ロジックデバイスではサムスンとファウンドリー最大手のTSMCが7ナノメートル以降で導入している。サムスンは昨春、業界に先駆け... (つづく)
