2021.12.03 TDSが高周波超音波で半導体検査小型パルサー・レシーバー開発

パルサー・レシーバー「T301PR」

　デバイスの微細化に従い、測定精度のさらなる高度化に対するニーズが高まる中、東レエンジニアリングDソリューションズ（TDS）は、超音波センサーの駆動装置であるパルサー・レシーバー「T301PR」を発売した。

　半導体の中のボイド（空隙）や、微小な亀裂を検知する用途で使うトランスデューサー（センサー）は、超音波映像装置（SAT）や超音波顕微鏡（SAM）などのヘッドに装着。パルサー・レシーバーはこのトランスデューサーの信号を受信する...　　(つづく)