2022.02.28 堀場エステック、MFCを紹介セミコンコリアから

堀場エステック・コリアのキムCEO

半導体プロセス進化に商機

　半導体の高性能化に向け、微細化や3次元化構造など製造プロセスの進化はとどまることがない。これに伴いさまざまなガスを使用するエッチングや成膜工程では、生産性や歩留まりに直結するガス制御性能への要件が高まっている。

　ここに大きな商機を見いだしているのが、マスフローコントローラー（M...　　(つづく)