2022.06.22 リオンが20ナノ測定の微粒子計半導体最先端工程で薬液管理
半導体の最先端プロセスで使用される液中微粒子計測器「KS-20F」
半導体の微細化の進展に伴い、ウエハーの洗浄などで使用する薬液や純水は、より高い水準での清浄度が要求されている。液中微粒子計測器は、薬液や純水に混入した粒径数十ナノメートルレベルの極微小な粒子を高精度で計数して清浄度管理に使用する。
リオンの「KS19-F」は最小0.03マイクロメートル（30ナノメートル）の粒子を測定可能で、米国、台湾、韓国、中国などの先端品の製造が行われる地域で広く活用されている。同社は2月に後継機種「KS... (つづく)
