2023.02.27 キヤノン 露光前ウエハーを計測

露光工程前に使用するウエハー計測機「MS-001」

半導体製造の生産性向上

　キヤノンは、半導体に回路を形成する露光工程の前に使用してウエハーの形状を計測する装置を発売した。露光工程から計測機能を独立させることで、露光装置の生産性を落とさず、高精度なウエハー計測が可能になる。

　先端半導体の製造工程はますます複雑化。それに伴い、多層に重ねた回路パターンの位置合わせをするために、ウ...　　(つづく)