2023.12.13 【セミコンジャパン特集】新コスモス電機 ガス警報器・検知器を各種展示

携帯用半導体材料ガス検知器「XPS-7Ⅱ」

 新コスモス電機は、ガスセンサーの研究開発からガス警報器の開発・製造・メンテナンスまでを一貫して行っている。セミコンジャパン2023では、半導体製造現場の安全管理のためのガス漏えい監視に適したガス警報器・検知器を各種出展する。

 これまで多くの半導体工場などで使用されてきた、定置式のコスモス式ガス検知部「PS-7」については、設置環境に応じてフレキシブルに対応できる後継機種を新たに展示する。ユニット別に機能を持たせることで拡張性・操作性を高めたほか、新たにブルートゥース無線技術を搭載し、さまざまなデバイスとの連動を可能にした。

 携帯用の半導体材料ガス検知器「XPS-7Ⅱ」は、カセット式のセンサーユニットを採用し、ユーザーの手元で交換が可能。校正作業が不要で、メンテナンスの手間を大幅に削減した。

 センサーユニットを交換することで、さまざまなガス種を1台で検知が可能になる。さらに、半導体・液晶製造装置のクリーニング剤やドライエッチング剤として使用されるNF3検知にも対応。NF3検知に対応した携帯用吸引式ガス検知器としては世界最小を実現する。

 また、赤外線によりプラントの屋外など広範囲のガス漏れを本体画面上で確認できる米テレダインFLIR(フリアー)社製ガス検知用赤外線カメラ「GF77-LR」と「GF77-HR」を出展する。赤外線カメラで広範囲をスキャニングし、ガス漏えいの疑いがある箇所を特定した後にガス検知器で詳細な検知を行うことで、効率よく確実な点検を行うことができる。ガス漏えい時に接近が難しい現場でも、離れた場所から状況把握ができ、事前に安全性を確保した上で作業に取り掛かることが可能となる。

 酸欠事故防止に役立つ酸素計も各種展示。一酸化炭素検知機能付きの住宅用火災警報器も併せてPRする。