2020.03.27 大陽日酸が窒素中微量水分計 金属有機構造体の性質利用　応答速度5分未満

　大陽日酸は、水分の吸着・脱離に応じて光学特性が変化する金属有機構造体の性質を用いた窒素中微量水分計の開発に成功した。今後、関連工場での試験や実環境下での長期フィールド試験を経て、20年度中の一般販売開始を目指す。

　半導体をはじめとする多くの産業に使用される高純度ガスは水分が混入すると、水分による酸化のために製品性能が歩留まりの悪化を引き起こす。

　しかし、水分は大気中に大量に存在するので容易に混入し得る...　　(つづく)