2024.04.03 HIOKIが基板検査装置の新製品　最小4マイクロメートルサイズの分解能

フライングプローブテスター「FA1815-20」

　HIOKIは、高密度基板の検査向けにフライングプローブテスター「FA1815-20」をこのほど発売した。これは高集積化による回路パターンの微細化やパターン数の増大に対応し、高速検査の実現を促すもの。

　新製品は高い剛性を持つ機体設計と新しいプローブ制御方式を採用。最小34マイクロメートルのピッチ（測定パターン間の距離）、最小4マイクロメートルサイズの分解能を持つ。機械ハードウエアの再設計と新しいプローブ移動アルゴリズムを採用し...　　(つづく)