2025.05.15 動作中の半導体デバイスの内部可視化　KEK、性能評価・開発への応用に期待

　高エネルギー加速器研究機構（KEK）物質構造科学研究所の福本恵紀特任准教授らの研究グループは、フェムト秒（fs）パルスレーザーを光源とする光電子顕微鏡装置を使い、半導体デバイスの動作下で、電流の制御に重要な役割を担う空乏層の形状の可視化に世界で初めて成功した。トランジスタやダイオード、LED、太陽電池など、各種半導体デバイスの性能評価や開発への応用が期待される。

　fs光電子顕微鏡は、励起光を試料に照射し、放出する光電子を投影...　　(つづく)