2026.04.23 リガク、半導体分野の事業機会拡大へ　米Onto Innovationと資本業務提携

Onto Innovationのモデルベース解析を統合したリガクのX線計測装置「XTRAIA CD- 3200T」

　分析機器大手のリガク・ホールディングスは21日、米半導体計測装置メーカーのOnto Innovation（オントゥ イノベーション）と資本業務提携を締結した。リガクが成長の要と位置付ける半導体プロセス・コントロール事業を強化することが狙い。 

　リガクが強みとするX線技術に、Onto Innovationの光学計測や解析ソフトウエア技術を補完的に融合することで、次世代半導体に対応した計測ソリューシ...　　(つづく)