2026.08.20 三菱ケミカル、超高純度コロイダルシリカの事業化を決定　北九州市に生産設備を新設

　三菱ケミカルは19日、最先端半導体向け研磨剤の原料に使用される超高純度コロイダルシリカの事業化を決定したと発表した。九州事業所・福岡地区（北九州市八幡西区）に生産設備を新設し、2028年10月の営業運転開始を予定する。

　コロイダルシリカは、シリコンウエハーの研磨スラリー向け原料やシリコンウエハー配線層のCMP（化学的研磨）スラリー向け原料として使用されている。特に、シリコンウエハー配線層の研磨では、表面をナノレベルで平坦化すると同時に、不純物を含むことなく、極力スクラッチを抑えながら、高い除去率を実現することが求められ、研磨対象となる物質によって適するコロイダルシリカ粒子の形状・物性が異なる。

　同社は新たに事業化する超高純度コロイダルシリカは、超高純度な原料（テトラメトキシシラン）から一貫生産することで不純物の含有を抑えることができる。さらに、同社がこれまで培ってきた技術力をもとに、顧客ニーズに合わせて粒子サイズや密度などをカスタマイズできる。