ウシオ電機は、最先端ICパッケージ基板の需要増に対応するため、分割投影露光装置（UX-5シリーズ）の生産能力増強の設備投資を決定した。

　今回の投資は2019年に続くもので、IoTの進展に伴い、大容量かつ高速でのデータ処理に対応したデータセンター向けサーバーの需要などが想定を上回っており、それに伴い高い解像性や、重ね合わせ精度が求められるICパッケージ基板の要求も増加しているため、同基板向け露光装置のさらなる増産に向けた投資が必要と判断した。

　設備投資の内容は、最先端ICパッケージ基板向け投影露光装置の生産スペース拡張。投資総額15億円（予定）。場所は御殿場事業所（静岡県御殿場市）。生産能力は既存の生産能力を約1.3倍以上に増強する。21年度上期にレイアウト変更、生産設備の増強を開始し、22年度上期中に生産能力1.3倍以上での生産を開始する。

　同社は今後も、IoTの進展による便利・快適な社会の実現に向け「光」で貢献していく構えだ。