2019.11.08 産総研　SEM中のEDSによる元素分析　従来に比べ2桁以上の高い空間分解能で可視化する技術

SEM中での元素組成分析を高い空間分析能で実現

　産業技術総合研究所（産総研）は、新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）のプロジェクトで、走査型電子顕微鏡（SEM）中でのエネルギー分散型エックス線分光法（EDS）による元素分析を、従来よりも2桁以上高い空間分解能で可視化する技術を開発した。

　SEM中でのEDS計測は、元素組成を簡便に定量分析する手法として様々な材料に広く用いられるが、一方で空間分解能が低く、ナノメートルサイズの材料を精度よく分析することは困難だった。...　　(つづく)