2022.03.07 タスミットが半導体パターン検査装置 NANDメモリー多層化に対応

電子線式半導体ウエハーパターン検査装置「NGR5500」

　東レエンジニアリンググループのタスミット（TASMIT）は、3次元NAND型フラッシュメモリーの多層化に対応した電子線式半導体ウエハーパターン検査装置「NGR5500」を発売した。NANDの積層数増加に加え、微細化が進むDRAMメモリーや、ロジック半導体の回路検査工程の効率化を求める声に応える。

　2次元NANDの微細化は限界に近付きつつあり、最先端デバイスでは記憶容量を増やすため、メモリーセルを積み上げる3次元化が進む。　　(つづく)