2020.01.08 【製造装置 主要各社の20年戦略】大陽日酸

生方主任研究員

GaN系MOCVD装置技術展開へ

 大陽日酸では、IoTの拡大および次世代高速通信規格5Gの本格スタートに備え、特殊ガスと周辺装置を含む戦略の再構築を加速させる。主力の装置事業にはMOCVD装置(有機金属化学気相成長法)と、HVPE装置(ハイドライド気相成長法)がある。

 イノベーション事業本部の生方映徳主任研究員は「IoT社会に向けて、MOCVD装置にこだわらず、HVPE装置などの...  (つづく)