2020.01.08 【製造装置 主要各社の20年戦略】大陽日酸

生方主任研究員

GaN系MOCVD装置技術展開へ

　大陽日酸では、IoTの拡大および次世代高速通信規格5Gの本格スタートに備え、特殊ガスと周辺装置を含む戦略の再構築を加速させる。主力の装置事業にはMOCVD装置（有機金属化学気相成長法）と、HVPE装置（ハイドライド気相成長法）がある。

　イノベーション事業本部の生方映徳主任研究員は「IoT社会に向けて、MOCVD装置にこだわらず、HVPE装置などの...　　(つづく)