2020.01.08 人間の五感を超える革新センシング技術開発が始動

BaMBIの開発概要

1　MEMS産業の状況と今後の進展

　MEMS（Micro　Electro　Mechanical　Systems：微小電気機械システム）とは、半導体製造技術やレーザー加工技術など、各種の微細加工技術を応用し、微小な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだセンサー、アクチュエータなどのデバイス／システムのことである。

　1990年代に自動車用の圧力センサー、加速度センサーやジャイロ...　　(つづく)