2022.09.05 日立ハイテクサイエンスが半導体の膜厚測定効率化、蛍光X線で電子部品の品質管理
卓上型蛍光X線膜厚計「FT230」
日立ハイテクグループの日立ハイテクサイエンスは、卓上型蛍光X線膜厚計「FT230」を発売した。製品検査での測定作業効率化のため、煩雑で時間を要する測定条件の各種設定を簡素化した。
蛍光X線膜厚計は、特別な前処理をせずに非破壊で多層の金属膜を同時に測定できる。半導体や電子部品のほか、自動車部品や金属関連などの幅広い分野で製品の受け入れ検査や工程管理、最終品質管理に活用されている。
FT230は、高分解能半... (つづく)
