2022.11.10 サンケン電気 大電流のショットキーダイオードを量産 トレンチ構造採用

FMESシリーズ

 サンケン電気は10月末、大電流トレンチショットキーダイオード「FMESシリーズ」の量産を開始したと発表した。大電流で小型化を実現するため、トレンチ構造を採用した。高温時の漏れ電流を大幅に低減、熱暴走温度の臨界点が高くなり、余裕のある熱設計が可能になる。

 ウエハー表面に溝を掘り、酸化膜およびポリシリコンで埋め込まれたトレンチ構造を採用。低抵抗のウエハー基板を使っても耐圧低下を防ぐことができ、ショットキー電極からの漏れ電流を抑制...  (つづく)