2022.12.21 日立ハイテクがウエハー表面検査装置、パターンなし表面の異物管理

ウエハー表面検査装置「LS9600」

　日立ハイテクは、高感度・高スループットのウエハー表面検査装置「LS9600」を発売した。パターンなしウエハー表面の異物や欠陥を検査する。

　パターンなしウエハー検査装置は、半導体デバイス製造装置の異物や欠陥の管理のために、パターンなしウエハーを使って清浄度などの状態管理をする際に使用される。

　LS9600には従来製品より高出力・短波長な深紫外レーザーを搭載。微小欠陥からの散乱光量が増加し、高感度化を実現し...　　(つづく)