日立ハイテクノロジーズの20年3月期第3四半期（19年4-12月）連結決算は、ロジック・ファウンドリ顧客向け販売が好調で、売上収益は減少したものの、四半期利益は前年を上回った。

　セグメント別売上収益では、ナノテクノロジー・ソリューションのプロセスシステムが、ロジック・ファウンドリ顧客の増産投資や次世代先端プロセス投資向けにエッチング装置の販売が好調に推移して大幅に増加。評価解析システムは、メモリー顧客の投資再開の遅れの影響で減少した。...　　(つづく)