2020.02.25 韓国サムスン、半導体製造工場「V1」稼働 EUVリソグラフィ技術導入 7ナノで受注生産
【ソウル支局】韓国のサムスン電子は、最先端のEUV（極端紫外線）リソグラフィ技術を導入した半導体製造工場「V1」が量産を開始したと発表した。主に、回路線幅7ナノメートル以降の微細プロセスによる半導体の受注生産を行う。
V1は、首都ソウル市から車で1時間半ほどの京畿道華城（ファソン）市に設立されたサムスン初のEUV専用ライン。18年2月に着工し、19年下半期に試験生産を開始した。最初の製品は1-3月期に出荷される予定。
(つづく)
