8年ぶりに開催されたキヤノンの技術展示会「Canon EXPO2023」。パシフィコ横浜ノース(横浜市西区)を会場に20日まで開かれた。

　多様な製品群が並ぶ中、インダストリアル分野では産業の高度化に寄与する基盤技術が紹介された。

　今月発表されたばかりのナノインプリント半導体製造装置「FPA-1200NZ2C」は、原寸大模型が会場入り口付近で来場者の注目を集めた。

　ウエハー上に塗布されたレジストにハンコを押すようにマスクを押し付けて回路パターンを形成する装置で、最先端ロジックへの適用も期待されている。

　3次元の立体的な回路パターンも1回のパターニング工程で形成でき、プロセス時間を低減。パターン形成時の消費電力を大幅に抑えられるのが特長だ。

　デモが実演された協働ロボット「ロボットセル」は非据え置き型。ラインの各所に移動させて少量多品種生産に柔軟に対応できる。

　キヤノンの力覚センサーを搭載し、カメラとの精緻な合わせ込みでケーブルなどの不定形物を基板に接続できる。同社半導体露光装置の製造でピンを差し込む作業の自動化を図った。

　約1900万画素という多画素が実現した自社開発のCMOSセンサーは、原子レベルの構造を観察できる「透過電子顕微鏡」に搭載され、観察能力が飛躍的に向上。実機が披露された。

　(23日付電波新聞／電波デジタルで掲載します)