2023.10.30 トルンプがプラズマ電源事業を拡充 半導体装置企業で採用広がる
27日の説明会でエレクトロニクス事業の方針を説明する高梨社長（右）と村上事業部長
板金加工機、工業用レーザー発振器の独トルンプは、エレクトロニクス事業が急成長している。半導体の成膜プロセスに用いるプラズマ電源が主力製品で、大手半導体製造装置メーカーで採用を広げている。テクニカルセンターを新設し、国内メーカーの支援を強化する。
プラズマ電源は要求される周波数と出力で電気を生成し、太陽光パネルやディスプレーなどの表面加工処理に用いられている。同社は直流（DC）からラジオ周波（RF）、マイクロ波周波（MW）まで... (つづく)
