絶縁破壊によって形成された伝導パスの可視化
東京大学の研究グループは、大規模集積化が可能なメモリー素子の新材料である二酸化ハフニウム（HfO₂）系強誘電体を用いたキャパシターが100万回以上のデータ書き換えによって絶縁破壊する様子を電極越しに可視化することに成功した。レーザー励起光電子顕微鏡によって、絶縁破壊後の電気伝導パスだけでなく絶縁破壊直前のリーク電流の増加領域の可視化に初めて成功。キャパシター内の広い範囲で抵抗が変化していることを解明した。3次元化が進む半導体デバイスの新たな非破壊... (つづく)
電波新聞は2024年4月から、祝日を休刊します。これまで日刊紙として土曜、日曜と月1回の新聞休刊日以外の毎日発行してきました。しかし、読者の働き方の変化など、より平日に情報収集する流れになってきていることを受けて祝日は休刊することにしました。
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【2024年に新たに休刊となる日】
▷4月29日（月）昭和の日
▷5月3日（金）憲法記念日
▷5月6日（月）振替休日
▷7月15日（月）海の日
▷8月12日（月）振替休日
▷9月16日（月）敬老の日
▷9月23日（月）振替休日
▷10月14日（月）スポーツの日
▷11月4日（月）振替休日
