2023.12.07 【新技術】大陽日酸、GaNエピウエハー量産MOCVD装置“UR26KCCD”を紹介

【図1】UR26KCCD装置

1．はじめに

　大陽日酸は2012年から、GaNエピウエハー量産に向けてMOCVD装置UR26Kを開発してきた（1）。加えて、エピ成長により反応炉内部材表面へ付着する反応副生成物を効率的に除去するドライクリーニング装置も開発してきた（2）。ここでは、UR26Kとドライクリーニング装置の利点を組み合わせた、これまでにないエピウエハー量産向け装置であるUR26KCCD

（図1）を紹介する...　　(つづく)