【図1】UR26KCCD装置
1．はじめに
大陽日酸は2012年から、GaNエピウエハー量産に向けてMOCVD装置UR26Kを開発してきた（1）。加えて、エピ成長により反応炉内部材表面へ付着する反応副生成物を効率的に除去するドライクリーニング装置も開発してきた（2）。ここでは、UR26Kとドライクリーニング装置の利点を組み合わせた、これまでにないエピウエハー量産向け装置であるUR26KCCD
（図1）を紹介する... (つづく)
電波新聞は2024年4月から、祝日を休刊します。これまで日刊紙として土曜、日曜と月1回の新聞休刊日以外の毎日発行してきました。しかし、読者の働き方の変化など、より平日に情報収集する流れになってきていることを受けて祝日は休刊することにしました。
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【2024年に新たに休刊となる日】
▷4月29日（月）昭和の日
▷5月3日（金）憲法記念日
▷5月6日（月）振替休日
▷7月15日（月）海の日
▷8月12日（月）振替休日
▷9月16日（月）敬老の日
▷9月23日（月）振替休日
▷10月14日（月）スポーツの日
▷11月4日（月）振替休日
