2023.12.20 日新イオン機器、量産用の半導体材料改質装置を開発 世界初、25年半ばから納入開始
量産用の半導体材料改質装置「KYOKA（鏡花）」
日新電機のグループ会社日新イオン機器（京都市南区）は、毎時25枚以上で300ミリメートルウエハーの材料改質処理ができる世界初の量産用の半導体材料改質装置「KYOKA（鏡花）」を開発した。
AI（人工知能）をはじめ次世代通信、IoT、ビッグデータ、自動運転、DX向けなどの最先端ロジックLSIの300ミリメートルシリコンウエハーの改質用に2025年半ば以降に納入を開始する予定。
ハンドリング機構を改造すれば... (つづく)
