2023.12.20 日新イオン機器、量産用の半導体材料改質装置を開発 世界初、25年半ばから納入開始

量産用の半導体材料改質装置「KYOKA(鏡花)」

 日新電機のグループ会社日新イオン機器(京都市南区)は、毎時25枚以上で300ミリメートルウエハーの材料改質処理ができる世界初の量産用の半導体材料改質装置「KYOKA(鏡花)」を開発した。

 AI(人工知能)をはじめ次世代通信、IoT、ビッグデータ、自動運転、DX向けなどの最先端ロジックLSIの300ミリメートルシリコンウエハーの改質用に2025年半ば以降に納入を開始する予定。

 ハンドリング機構を改造すれば...  (つづく)