2020.03.27 NEDOなど深紫外ピコ秒パルスレーザー発振器開発 世界最高クラスの出力8Wを実現
深紫外ピコ秒パルスレーザー発振器の外観
新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）は、スペクトロニクスと共同で、波長266ナノメートルの深紫外ピコ秒パルスレーザー発振器で世界最高クラスとなる出力8Wの発振器を開発した。スペクトロニクスが、パルス幅が15ピコ秒以下の深紫外短パルスレーザー発振器として、世界に先駆けて販売を開始している。
深紫外ピコ秒パルスレーザーでは穴開け、切断、パターニング、剥離など様々な加工を高品位で微細に行えるが、低出力による生産性の低さが... (つづく)
