2024.01.17 日立ハイテク、半導体検査装置を拡充 精度向上、ばらつきを極小化
ウエハー欠陥検査装置「DI4600」
日立ハイテクは量産ラインでの検査要求の高まりに対応し、半導体検査装置のラインアップを拡充した。
ウエハー欠陥検査装置「DI4600」は、生産ラインでウエハー表面上の異物や欠陥情報を検出する。
デバイスメーカーは量産ラインの中で、ウエハー検査を実施。プロセスの製造装置に異常が生じると、コンタミなどのごみが発生し、製品の半導体は不良品になる恐れがあるため、できるだけ早期に異物の検出が求められる。
... (つづく)
