2024.12.11 【セミコンジャパン2024特集】新コスモス電機 各種ガス検知器・警報器を出展
コスモス式ガス検知部「PS-8」のメインユニット
新コスモス電機は、7月に発売した新製品、コスモス式ガス検知部「PS-8シリーズ」を中心に、半導体製造現場の保安に役立つ各種ガス検知器・警報器を出品。半導体材料ガスの検知や、有機溶剤など化学物質の管理に役立つ機器も併せて展示する。
PS-8シリーズは、半導体工場向けガス検知警報装置用ガス検知部。2003年に前身機種の「PS-7」を発売して以来、21年ぶりの新製品だ。
リニューアルに際しての一番の特長は、独自の熱線型半導体式センサーでSiH4(シラン)の高感度検知が可能となったこと。半導体式センサーでの水素化物の検知は世界初で、センサーの長寿命化(最長5年間)を実現した。交換周期が延び、ランニングコストを削減できる。
また、メインユニットにサブユニットや拡張ユニットを追加することができる。ユーザーが必要なガス種を必要な分だけ増設でき、フレキシブルな監視が行える。メインユニットには大型液晶を採用し、拡張ユニットの情報も表示できるようにするなど、ユーザビリティーを高めた。
PS-8は前身機種同様に、校正済みのセンサーユニットを交換するだけで現場でのガス校正が不要な「コスモス式」。校正済みのセンサーユニットを現場で交換可能で、メンテナンスの負担を軽減。さらにコストダウンが図れるという。
PS-8から、機器正面のカバーを開けてセンサーユニットを交換できる「フロントアクセス」を取り入れた。より簡単にセンサー交換ができる。
PoEに対応しており、LANケーブル1本で機器の電源供給からデータ通信までを行うことができる。PLCとの間に必要だった変換器なども不要で、省配線および簡単な接続を実現する。
ブースでは新製品のデモを行うほか、半導体材料ガス検知器「XPS-7Ⅱ」、酸素計「XO-353ⅡBT」、化学物質リアルタイムモニター「XP-3320Ⅱ-V」も披露する。