2025.12.21 クラボウ、計測装置や金属イオン除去フィルターを訴求 セミコンジャパンで存在感
展示した金属イオン除去フィルター
クラボウは、17~19日に東京ビッグサイト(東京都江東区)で開かれた半導体製造装置・材料の展示会「SEMICON Japan(セミコンジャパン)2025」に出展し、計測装置や高機能フィルム、高機能樹脂製品、金属イオン除去フィルターを提案した。併せて、増強した高機能樹脂製品の生産能力もアピールした。
紹介した製品の一つが、ウエハーの製造に欠かせない薬液の濃度を測る薬液成分濃度計「ChemicAlyzer(ケミカライザー)」。具体的には、濃度をコンロトールすることで、ウエハーの削りすぎを防いだり、洗浄漏れを防いだりできる。
参考出展の「In-Situ(インサイチュ)」反射光モニターは、枚葉洗浄装置の処理チャンバー内にセンサーを取り付け、配線形成工程での洗浄・エッチング処置をウエハーの表面の反射率からリアルタイムで計測できる。薬液に邪魔されずにウエハーの状態を見ることができる点が売りだ。高機能フィルムの耐熱ポリスチレンフィルム「Oidys(オイディス)」は、低誘電性の特徴を生かし高周波向けの絶縁材料として提案しているという。
さらに同社は、拡充した高機能樹脂製品の生産体制も紹介し、供給能力の強みを示した。7月に稼働を始めた熊本イノベーションセンター(熊本県菊池市)と、同月からフッ素樹脂、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)素材成形を新たに手がける寝屋川工場(大阪府寝屋川市)を紹介した。









