2026.09.12 トクヤマ、窒化アルミ粉末の生産能力3割増強 AI半導体需要と経済安保
化学大手のトクヤマは、半導体製造装置の部材になる窒化アルミニウム(AlN)粉末の生産能力を2028年4月に現行比30%増強する。山口県柳井市の先進技術事業化センターに生産設備を新設し、同月に営業運転を開始する。経済安全保障推進法に基づく供給確保計画の認定を受けて実施する。
AlNは熱伝導性、電気絶縁性、プラズマガスへの耐腐食性に優れたセラミックス材料で、半導体製造装置向け部材のほか熱伝導材料向け放熱フィラーなどに使う。同社は... (つづく)




